Semistat S 4400

Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht.

Bestell-Nr.: L003278

Leistungsmerkmale

Thermoelektrischer Prozessthermostat mit geringem Energieverbrauch
Leiser und vibrationsarmer Betrieb durch kältemittelfreie Kühltechnologie
Keine Filter oder DI-Komponenten erforderlich
Mit einem Anschluss zum Spülen mit sauberer, trockener Luft (CDA) zur Vermeidung von Kondensation
Verwendung von perfluorierten Flüssigkeiten
Wassergekühlte Ausführung
Geringe Baugröße und geringes Gewicht
Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen

Arbeitsbereich

Arbeitstemperatur min.

-20 °C

Arbeitstemperatur max.

90 °C

Temperaturkonstanz

0.1 ± K

Technische Merkmale (nach DIN 12876)

Arbeitstemperaturbereich
-20 ... 90 °C
Temperaturkonstanz
0.1 ± K
Heizleistung min.
12 kW
Füllvolumen min.
2.5 L
Füllvolumen max.
2.8 L
Abmessungen (BxTxH)
194 x 300 x 560 mm
Netzversorgung
Connection to PSC
TemperaturKälteleistung 50 HzKälteleistung 60 Hz
20 °C4,4 kW4,4 kW
10 °C3,5 kW3,5 kW
0 °C2,6 kW2,6 kW
-10 °C1,65 kW1,65 kW
-20 °C0,7 kW0,7 kW

 

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Gerät Gerätekategorie Dokumententyp Sprache Format Größe

Kapitel Umwälz- und Prozessthermostate
Gesamtprospekt

Prozessthermostate Prospekt
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Thermoelektrische Prozessthermostate

Prozessthermostate Prospekt
Deutsch
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