Semistat Prozessthermostate
Thermoelektrische Prozessthermostate für die Halbleiterindustrie von -20 bis 90 °C

Thermoelektrische Prozessthermostate von -20 bis 90 °C für die Halbleiterindustrie

Schnelle und päzise Temperaturregelung für anspruchsvolle Prozesse. Basierend auf den bewährten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen, bieten die thermoelektrischen Systeme zur Temperaturregelung LAUDA Semistat reproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen.

Durch dynamische Temperaturregelung des elektrostatischen Wafer-Chucks (ESC) können die Geräte mit allen Arten von Ätzprozessen eingesetzt werden.

Energieeffizient, platzsparend und mit stabiler Temperaturregelung sind sie dank dieser ausgeklügelten Systeme ideal bei der Herstellung immer kleiner werdender Bauteile.

Übersicht

Vorteile und Mehrwert

  • Kompressor- und kältemittelfreies System mit niedrigem Energieverbrauch
  • Branchenweit kleinste Standfläche, ideal geeignet für Unterflurinstallation
  • Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen

Arbeitsbereich

Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht.

Arbeitstemperatur min.

-20 °C

Arbeitstemperatur max.

90 °C

Temperaturkonstanz

0.1 ± K

Gerätelinien

Wählen Sie bis zu 4 technische Parameter, die Sie in der Tabelle anzeigen lassen möchten

Produkt Arbeitstemp. min. Arbeitstemp. max. Heizleistung max. Kälteleistung bei 20 °C 50 Hz Produkt vergleichen Produkt kaufen
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW Details
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW Details
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW Details

Geräteabmessungen

116 x 232 x 470 mm

Semistat S 1200

194 x 300 x 560 mm

Semistat S 4400

116 x 300 x 560 mm

Semistat S 2400

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Kapitel Umwälz- und Prozessthermostate
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Prozessthermostate Prospekt
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Thermoelektrische Prozessthermostate

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