Befüllkanister 1 GAL
Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht.
Arbeitstemperatur min.
-20 °C
Arbeitstemperatur max.
90 °C
Temperaturkonstanz
0.1 ± K
Temperatur | Kälteleistung 50 Hz | Kälteleistung 60 Hz |
---|---|---|
20 °C | 1,2 kW | 1,2 kW |
10 °C | 0,9 kW | 0,9 kW |
0 °C | 0,6 kW | 0,6 kW |
-10 °C | 0,35 kW | 0,35 kW |
-20 °C | 0,08 kW | 0,08 kW |
20 °C | 1,2 kW | 1,2 kW |
10 °C | 0,9 kW | 0,9 kW |
0 °C | 0,6 kW | 0,6 kW |
-10 °C | 0,35 kW | 0,35 kW |
-20 °C | 0,08 kW | 0,08 kW |
Gerät | Gerätekategorie | Dokumententyp | Sprache | Format | Größe | |
---|---|---|---|---|---|---|
Kapitel Umwälz- und Prozessthermostate Gesamtprospekt | Prozessthermostate | Prospekt |
Deutsch
| 4,88 MB | ||
Thermoelektrische Prozessthermostate | Prozessthermostate | Prospekt |
Deutsch
| 871,96 kB |
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