Thermoelektrische Prozessthermostate von -20 bis 90°C

Gerätelinie Semistat
Basierend auf den bewährten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen, bieten die thermoelektrischen Systeme zur Temperaturregelung LAUDA Semistat reproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen. Durch dynamische Temperaturregelung des elektrostatische Wafer-Chucks (ESC) können die Geräte bei allen Arten von Ätzprozessen eingesetzt werden. Energieeffizient, platzsparend und mit stabiler Temperaturregelung sind sie dank dieser ausgeklügelten Systeme ideal bei der Herstellung immer kleiner werdender Bauteile.

Thermoelektrische Prozessthermostate von -20 bis 90°C

Alle Semistat-Geräte in der Übersicht

Gerätelinie

Semistat Peltierthermostat

Thermoelektrische Prozessthermostate für die Halbleiterindustrie von -20 bis 90 °C

Kälteleistung von 1.2 kW bis 4.4 kW

Heizleistung von 3 kW bis 12 kW

-100
-50
0
50
100
150
200
250
300
-20 bis 90 °C

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Arbeitstemperatur (°C)

Produkt Arbeitstemp. min. Arbeitstemp. max. Heizleistung max. Kälteleistung bei 20 °C 50 Hz Produkt vergleichen
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW
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Anwendungen und Branchenbeispiele für LAUDA Thermostate

Halbleiterindustrie

Bei der Herstellung von Halbleitern und der Prüfung elektronischer Bauteile gibt es zahlreiche Prozesse, die exakt temperiert sein müssen.

Zum Anwendungsbeispiel

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