Thermostats de processus thermoélectriques de -20 à 90°C
Ligne de produits Semistat
Basés sur les principes éprouvés de transfert de chaleur des éléments Peltier, les systèmes thermoélectriques de thermorégulation LAUDA Semistat offrent une thermorégulation reproductible pour les applications de gravure au plasma. Grâce à la régulation de température dynamique du support de tranche électrostatique (ESC), les appareils peuvent être utilisés avec tous types de processus de gravure. Efficaces sur le plan énergétique, peu encombrants et dotés d'une régulation stable de la température, ils sont, grâce à ces systèmes ingénieux, idéaux pour la fabrication de composants de plus en plus petits.
