Termostatos de proceso termoeléctricos de -20 a 90 °C

Línea de equipos Semistat
Tomando como base los acreditados principios de transmisión de calor de los elementos Peltier, los sistemas termoeléctricos de regulación de temperatura LAUDA Semistat proporcionan una regulación reproducible de la temperatura para aplicaciones de grabado por plasma. La regulación dinámica de la temperatura del porta obleas electrostático (ESC) permite que los equipos se utilicen en todo tipo de procesos de grabado. Gracias a la regulación estable de temperatura, su eficiencia energética y diseño compacto, estos ingeniosos sistemas, son ideales para la producción de componentes cada vez más pequeños.

Termostatos de proceso termoeléctricos de -20 a 90 °C

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Línea de equipos

Semistat Termostato Peltier

Termostatos de proceso termoeléctricos para la industria de los semiconductores desde -20 hasta 90 °C

Potencia de frío de 1.2 kW a 4.4 kW

Potencia calorífica de 3 kW a 12 kW

-100
-50
0
50
100
150
200
250
300
-20 hasta 90 °C

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Producto Temp. de trabajo mín. Temp. de trabajo máx. Potencia calorífica máx. Potencia de frío a 20 °C 50 Hz Comparar el producto
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW
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Aplicaciones y ejemplos de sectores para los termostatos LAUDA

Industria de los semiconductores

En la fabricación de semiconductores y en la comprobación de componentes electrónicos, existen numerosos procesos que requieren una regulación exacta de la temperatura.

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