Semistat Prozessthermostate
热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业

温度范围从 -20 至 90°C 的热电式过程恒温器,适用于半导体行业

快速且精准温度调节,可用于严苛要求的工艺过程。LAUDA Semistat 热电式温度调节系统基于经过验证的 Peltier 元件传热理论,为等离子刻蚀应用提供可重复性温度控制。

通过对静电晶圆夹盘 (ESC) 的动态温度调节,该设备可用于所有类型的刻蚀过程。

该系列产品节省能源、节省空间且具有稳定的温度调节系统,使其成为制造更小部件的理想之选。

概览

优势和附加价值

  • 无压缩机和制冷剂的低能耗系统
  • 行业范围内占地面积最小,非常适合安装于地板之下
  • 非常低的温度控制液体量

工作范围

与基于压缩机的系统相比,通过在使用地点 (Point-of-Use) 使用温度控制系统,降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下,非常节省空间,这样最大限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K,从而提高晶圆间均质性。

最小工作温度

-20 °C

最大工作温度

90 °C

温度稳定性

0.1 ± K

设备线

选择最多 4 个希望显示在表格中的技术参数

产品 最低工作温度 最高工作温度 最大加热功率 20 °C 50 Hz 时的制冷功率 比较产品
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW 详情
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW 详情
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW 详情

设备尺寸

116 x 232 x 470 mm

Semistat S 1200

194 x 300 x 560 mm

Semistat S 4400

116 x 300 x 560 mm

Semistat S 2400

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热电的工艺恒温控制器

过程恒温器 手册
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LAUDA 恒温器的应用和行业示例

半导体行业

在生产半导体和测试电子元件期间,有许多过程必须精确进行温度控制。

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