温度范围从 -20 至 90°C 的热电式过程恒温器

Semistat 设备线
LAUDA Semistat 热电式温度调节系统基于经过验证的 Peltier 元件传热理论,为等离子刻蚀应用提供可重复性温度控制。通过对静电晶圆夹盘 (ESC) 的动态温度调节,该设备可用于所有类型的刻蚀过程。该系列产品节省能源、节省空间且具有稳定的温度调节系统,使其成为制造更小部件的理想之选。

温度范围从 -20 至 90°C 的热电式过程恒温器

所有 Semistat 系列设备概览

设备线

Semistat珀尔帖恒温器

热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业

制冷功率从 1.2 kW 至 4.4 kW

加热功率从 3 kW 至 12 kW

-100
-50
0
50
100
150
200
250
300
-20 至 90 °C

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工作温度 (°C)

产品 最低工作温度 最高工作温度 最大加热功率 20 °C 50 Hz 时的制冷功率 比较产品
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW
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LAUDA 恒温器的应用和行业示例

半导体行业

在生产半导体和测试电子元件期间,有许多过程必须精确进行温度控制。

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