Semistat Prozessthermostate
Термоэлектрические процесс-термостаты для полупроводниковой промышленности с рабочим диапазоном от –20 до 90 °C

Термоэлектрические процесс-термостаты с рабочим диапазоном от –20 до 90 °C для лаборатории

Быстрое и точное термостатирование для сложных процессов. Термоэлектрические системы термостатирования LAUDA Semistat, основанные на проверенных принципах теплопередачи элементов Пельтье, обеспечивают воспроизводимую регулировку температуры при плазменном травлении.

Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления.

Эти продуманные системы энергоэффективны, компактны, стабильно регулирую температуру и идеально подходят для производства различных деталей, которые в современном мире становятся все меньше.

Обзор

Преимущества и добавочная стоимость

  • Энергоэффективная система, работающая без компрессора и холодильного агента
  • Самая маленькая установочная площадь среди изделий-конкурентов, идеально подходит для установки под полом
  • Очень маленький объем термостатирующей жидкости

Рабочий диапазон

Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».

Рабочая температура, мин.

-20 °C

Рабочая температура, макс.

90 °C

Постоянство температурного режима

0.1 ± K

Линейки приборов

Выберите до 4 технических параметров, которые вы хотите видеть в таблице

Продукт Мин. рабочая температура Макс. рабочая температура Теплопроизводительность, макс. Холодопроизводительность при 20 °C 50 Гц Сравнить продукт
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW подробности
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW подробности
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW подробности

Размеры прибора

116 x 232 x 470 mm

Semistat S 1200

194 x 300 x 560 mm

Semistat S 4400

116 x 300 x 560 mm

Semistat S 2400

Файлы для загрузки — Общие данные о продукции

Пожалуйста, выберите языки для отображения документов:

Доступные документы
Доступные языки
Устройство Категория устройства Тип документа Язык Формат Размер

Thermoelectric process thermostats

Технологические термостаты Руководство по эксплуатации
Английский язык
PDF 2,41 MB Загрузить документ

Chapter Circulation and process thermostats
Overall brochure

Технологические термостаты Брошюра
Английский язык
PDF 4,76 MB Загрузить документ

Thermoelectric process thermostats

Технологические термостаты Брошюра
Английский язык
PDF 864,69 kB Загрузить документ

Подходящие принадлежности

Хотите узнать больше или задать вопрос?


International Area Sales

+49 9343 503-555
E-Mail

Вам также может быть интересно:

Нагревающие термостаты

  • Различные классы производительности от базового до наивысшего
  • Диапазон температур от 20 °C до 300 °C
  • Постоянство температуры ±0,01 K
  • Ванны из нержавеющей стали (изолированные) размерами от 2,5 л до 40 л
  • Разнообразные интерфейсные модули
К Нагревающие термостаты

Охлаждающие термостаты

  • Различные классы производительности от базового до наивысшего
  • Диапазон температур от –100 °C до 200 °C
  • Долговечность благодаря использованию натуральных холодильных агентов
  • Ванны из нержавеющей стали (изолированные) размерами от 3,3 л до 44 л
  • Разнообразные интерфейсные модули
К Охлаждающие термостаты

Циркуляционные термостаты и процесс-термостаты

  • Термостатирование с помощью холодильных агентов или на базе технологии Пельтье
  • Устройства с открытыми системами ванн, а также с наложением давления
  • Компактная конструкция
  • Диапазон температур от –90 °C до 320 °C
  • Холодопроизводительность от 0,06 до 25 кВт
К Циркуляционные термостаты и процесс-термостаты

Калибровочные термостаты

  • Диапазон температур от –25 °C до 200 °C
  • Постоянная глубина погружения благодаря калибровочной камере с принципом перелива
  • Предлагаются разные размеры, отверстия ванн и полезная глубина
  • Обширный ассортимент принадлежностей
  • Улучшенная теплопередача по сравнению с нагревательными шкафами и металлическими блочными термостатами
К Калибровочные термостаты

Термостаты погружные и мостиковые

  • Термостатирование ванн на выбор, теплопроизводительность до 3,5 кВт
  • Телескопическая стойка для ванн шириной от 310 до 550 мм
  • С разными моделями насосов: нагнетательно-всасывающий насос или мощные нагнетательные насосы
  • Для различной глубины ванн до 320 мм
  • Возможность выбора контрольной головки в зависимости от необходимого объема функций
К Термостаты погружные и мостиковые

Области применения термостатирующих устройств LAUDA и примеры их использования в разных отраслях

Полупроводниковая промышленность

Для производства полупроводников и проверки электронных компонентов применяются многочисленные процессы, требующие точного регулирования температуры.

К примеру применения

В вашем сравнительном списке уже есть три продукта.
Для сравнения других продуктов удалите один из продуктов в вашем сравнительном списке.