Semistat Термостат с эффектом Пельтье

Semistat Термостат с эффектом Пельтье

Термоэлектрические процесс-термостаты для полупроводниковой промышленности с рабочим диапазоном от –20 до 90 °C

Термоэлектрическая система регулирования температуры на месте использования (Point-of-Use, Semistat) обеспечивает воспроизводимое регулирование температуры для задач плазменного травления. Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления. Термоэлектрические системы регулирования температуры LAUDA Semistat основаны на проверенных и известных принципах теплопередачи элементами Пельтье. Использование этих элементов позволяет быстро и точно регулировать температуру, что необходимо для реализации сложных процессов при производстве все более мелких компонентов.

Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».

Рабочая температура, мин.

-20 °C

Рабочая температура, макс.

90 °C

Постоянство температурного режима

0.1 ± K

Semistat S 1200 Semistat S 4400 Semistat S 2400
Рабочая температура, мин. -20 °C -20 °C -20 °C
Рабочая температура, макс. 90 °C 90 °C 90 °C
Холодопроизводительность при 20 °C
Интегрированные интерфейсы
Загрузить технический паспорт
Загрузка проспекта
Технические подробности
Сравнить продукт

В вашем сравнительном списке уже есть три продукта.
Для сравнения других продуктов удалите один из продуктов в вашем сравнительном списке.