Thermostats de processus thermoélectriques de -20 à 90°C

Ligne de produits Semistat
Basés sur les principes éprouvés de transfert de chaleur des éléments Peltier, les systèmes thermoélectriques de thermorégulation LAUDA Semistat offrent une thermorégulation reproductible pour les applications de gravure au plasma. Grâce à la régulation de température dynamique du support de tranche électrostatique (ESC), les appareils peuvent être utilisés avec tous types de processus de gravure. Efficaces sur le plan énergétique, peu encombrants et dotés d'une régulation stable de la température, ils sont, grâce à ces systèmes ingénieux, idéaux pour la fabrication de composants de plus en plus petits.

Thermostats de processus thermoélectriques de -20 à 90°C

Tous les appareils Semistat en un coup d'œil

Ligne de produits

Semistat Thermostat à effet peltier

Thermostats de process thermoélectriques conçus pour l'industrie des semi-conducteurs de -20 à 90 °C

Puissance frigorifique de 1.2 kW à 4.4 kW

Puissance de chauffage de 3 kW à 12 kW

-100
-50
0
50
100
150
200
250
300
-20 jusqu'à 90 °C

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Température de fonctionnement (°C)

Produit Température de travail min. Temp. de travail max. Puissance de chauffe max. Puissance frigorifique à 20 °C 50 Hz Comparer le produit
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW
  • 1

Applications et exemples sectoriels pour les thermostats LAUDA

Industrie des semi-conducteurs

Lors de la fabrication de semi-conducteurs et du contrôle de composants électroniques, de nombreux process doivent être thermorégulés avec précision.

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