Semistat Prozessthermostate
Termostatos de proceso termoeléctricos para la industria de los semiconductores desde -20 hasta 90 °C

Termostatos de proceso termoeléctricos desde −20 hasta 90 °C para la industria de los semiconductores

Regulación de temperatura rápida y precisa para procesos exigentes. Tomando como base los acreditados principios de transmisión de calor de los elementos Peltier, los sistemas termoeléctricos de regulación de temperatura LAUDA Semistat proporcionan una regulación reproducible de la temperatura para aplicaciones de grabado por plasma.

La regulación dinámica de la temperatura del porta obleas electrostático (ESC) permite que los equipos se utilicen en todo tipo de procesos de grabado.

Gracias a la regulación estable de temperatura, su eficiencia energética y diseño compacto, estos ingeniosos sistemas, son ideales para la producción de componentes cada vez más pequeños.

Visión general

Ventajas y valor añadido

  • Sistema sin compresor ni refrigerante con bajo consumo de energía
  • La superficie de colocación más pequeña del sector, ideal para la instalación bajo el suelo
  • Volumen de líquido caloportador muy bajo

Zona de trabajo

El uso de sistemas de regulación de temperatura Semistat permite reducir el consumo de energía hasta un 90 % con respecto a sistemas basados en compresores. El espacio necesario mínimo junto a la posibilidad de realizar una instalación bajo el suelo en el punto de uso minimiza la ocupación del espacio limpio. Gracias a una regulación rápida y precisa de la temperatura de los perfiles de temperatura del proceso con una exactitud de ±0,1 K se logra una homogeneidad "Wafer-to-Wafer" mejorada.

Temperatura de trabajo mín.

-20 °C

Temperatura de trabajo máx.

90 °C

Estabilidad de temperatura

0.1 ± K

Líneas de equipos

Seleccione hasta 4 parámetros técnicos que quiere que se muestren en la tabla

Producto Temp. de trabajo mín. Temp. de trabajo máx. Potencia calorífica máx. Potencia de frío a 20 °C 50 Hz Comparar el producto
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW detalles
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW detalles
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW detalles

Dimensiones del equipo

116 x 232 x 470 mm

Semistat S 1200

194 x 300 x 560 mm

Semistat S 4400

116 x 300 x 560 mm

Semistat S 2400

Descargas - Datos de producto generales

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Dispositivo Categoría de dispositivo Tipo de documento Idioma Formato Talla

Capítulo Termostatos de circulación y proceso
Catálogo general

Termostatos de proceso Folleto
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