Semistat

Термоэлектрические процесс-термостаты для полупроводниковой промышленности с рабочим диапазоном от –20 до 90 °C

Термоэлектрическая система регулирования температуры на месте использования (Point-of-Use, Semistat) обеспечивает воспроизводимое регулирование температуры для задач плазменного травления. Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления. Термоэлектрические системы регулирования температуры LAUDA Semistat основаны на проверенных и известных принципах теплопередачи элементами Пельтье. Использование этих элементов позволяет быстро и точно регулировать температуру, что необходимо для реализации сложных процессов при производстве все более мелких компонентов.

Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».

Диапазон рабочих температур мин.

- 20 °C

Диапазон рабочих температур макс.

90 °C

Постоянство температурного режима

0,1 ±K

S 1200 S 2400 S 4400
Рабочая температура, мин. -20 °C -20 °C -20 °C
Рабочая температура, макс. 90 °C 90 °C 90 °C
Холодопроизводительность при 20 °C 1.20 kW 2.45 kW 4.40 kW
Загрузить технический паспорт
Загрузка проспекта
Технические подробности
Сравнить продукт

В вашем сравнительном списке уже есть три продукта.
Для сравнения других продуктов удалите один из продуктов в вашем сравнительном списке.

Представитель компании LAUDA во всем мире

Логин

PartnerNet

Information gets more and more important for successful sales and service processes. With LAUDA PartnerNet we offer you a tool which will help you to find very fast the data you need serving your customers.