Seit dem Jahr 2014 sind die thermoelektrischen Prozessthermostate, die ihren Einsatz bei der Temperierung von Ätzprozessen in der Halbleiterindustrie finden, durch die Akquisition von Noah Precision (jetzt LAUDA-Noah) fester Bestandteil des umfangreichen Portfolios von LAUDA. Jetzt hat der Weltmarktführer für exaktes Temperieren die bisherige POU Gerätelinie unter der Gerätelinie ›Semistat‹ komplett neu entwickelt und erweitert.

Die neue LAUDA Semistat Gerätelinie umfasst drei Modelle: Mit dem Semistat S 1200 bietet LAUDA ein günstiges Einstiegsgerät, das im Vergleich zur Vorgängerserie mit einer noch kleineren Standfläche punkten kann – bei einer gleich gebliebenen Kälteleistung von 1,2 kW bei 20 °C. Beim neu entwickelten Semistat S 2400 bleibt der bewährte mechanische und hydraulische Aufbau der Reihe erhalten. Der Prozessthermostat nutzt außerdem die jüngsten Fortschritte im Bereich der Thermoelektrik. So kommen leistungsfähige Peltierelemente der neusten Generation zum Einsatz, die neben einer größeren Leistungsdichte eine weitere Erhöhung der Zuverlässigkeit garantieren. Mit dem Semistat 4400 bringt LAUDA eine neue Leistungsklasse mit 4,4 kW Kälteleistung auf den Markt. Dieser Prozessthermostat wurde speziell für Anwendungen mit 300 mm-Wafern mit hohem Leistungsbedarf bei tiefen Temperaturen entwickelt.

Thermoelektrische Prozessthermostate für die Halbleiterindustrie von -20 bis 90 °C

Die Semistat Prozessthermostate sind optimiert für die exakte Temperaturregelung bei Plasmaätzanwendungen in der Halbleiterindustrie. Beim Ätzprozess werden definierte Bereiche auf der Oberfläche der Wafer entfernt. Die Wafer-Chucks, die sich innerhalb der Plasmaätzkammer befinden, werden durch eine dynamische Temperaturregelung auf konstanter Temperatur gehalten, damit Temperaturdrifts verhindert werden. Die konstante Temperatur ist von entscheidender Bedeutung, um ein stabiles Ätzprofil und damit eine qualitativ hochwertige Oberfläche zu erhalten. Durch den Einsatz der Peltiertechnik kommen bei dieser Anwendung die beiden größten Vorteile der Semistat Prozessthermostate zum Tragen: Energie- und Platzeinsparung bei maximaler Dauerbetriebssicherheit.

Die neuen Prozessthermostate arbeiten sehr energieeffizient, da sie nur dann temperieren – und damit Energie verbrauchen – wenn innerhalb der Ätzkammer ein Bedarf zum Heizen oder Kühlen besteht. Da mit der gleichen Komponente, nämlich dem Peltierelement, geheizt und gekühlt wird, ist ein sehr platzsparender Aufbau möglich. Durch die kompakte Bauweise und optionale Unterflurinstallation wird minimaler Platz im kostenintensiven Reinraum verbraucht. Ein kleines internes Flüssigkeitsvolumen und kurze Schlauchverbindungen vom Gerät zur Anwendung bedeuten, dass weniger Energie notwendig ist, um das Volumen zu temperieren. Insbesondere ermöglicht das geringe Temperierflüssigkeitsvolumen rasche Temperaturänderungen. Semistat Temperiersysteme verringern gegenüber kompressorbasierten Systemen den Energieverbrauch um bis zu 90 Prozent.

Die Semistat Gerätelinie hat wie seine bewährten Vorgänger einen Arbeitstemperaturbereich von -20 bis 90 °C mit einer hohen Temperaturkonstanz von ±0,1 K. Mit Kälteleistungen von 1,2 bis jetzt 4,4 kW können die wassergekühlten Geräte bei einer Vielzahl von Kammer- und Plattformtypen eingesetzt werden.

Die wichtigen Funktionen der LAUDA Semistat Prozessthermostate

• Kompressor- und kältemittelfreies System mit niedrigem Energieverbrauch
• Branchenweit kleinste Standfläche
• Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen
• Verwendung von perfluorierten Fluids
• Bessere Zugänglichkeit und minimaler Verbrauch von Reinraum
• Keine Filter oder DI-Komponenten erforderlich
• Hohe Zuverlässigkeit und geringe Betriebskosten
• Einfache Fehlersuche durch vor Ort auswechselbare Module
• Dynamische, stabile Temperaturregelung am Point of Use
• Stabile Ätzprofile durch Verhinderung von Temperaturdrifts
• Verbesserte Wafer-to-Wafer-Stabilität

Die weltweite Lage bezüglich des Coronavirus hat sich dramatisch verändert und ungeahnte Ausmaße angenommen. Wir haben heute im Unternehmen zum wiederholten Male wichtige Maßnahmen definiert, die auch Auswirkungen auf unseren Geschäftsbetrieb haben. Wir haben eine Planung erstellt, die unseren Geschäftsbetrieb so lange als möglich aufrechterhält. Es kann aber zu gewissen Einschränkungen bei der Erreichbarkeit kommen.

Wir haben beschlossen, dass ab dem 17. März 2020 alle Geschäftsreisen von Deutschland ins Ausland zu unterlassen sind. Außerdem empfangen wir ab dem 17. März bis auf Weiteres keine Geschäftsbesuche aus dem Ausland. Wir bitten um Verständnis. Uns ist es wichtig zu betonen, dass die Gesundheit unser Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter für uns jederzeit im Vordergrund steht.

Darüber hinaus versuchen wir unseren Geschäftsbetrieb so zu betreiben, dass unsere Kunden möglichst wenig davon betroffen sind. Gewisse Auswirkungen lassen sich aufgrund der Epidemie jedoch nicht vermeiden. Wir bedanken uns für Ihr Verständnis und stehen für Fragen zur Verfügung.

LAUDA, der Weltmarktführer für Temperiergeräte und -anlagen zur exakten Temperaturerzeugung, erweitert sein Portfolio im Bereich der Labortechnik.  Mit der neuen Gerätelinie der LAUDA Hydro Wasserbäder bietet LAUDA ein erheblich erweitertes Sortiment, verstärkt durch den Zusatz »GFL Technology«. Damit greift LAUDA die Tradition der Marke GFL auf, die in Laboren seit über 50 Jahren für ihre Langlebigkeit und höchste Qualität geschätzt wird. Das Unternehmen GFL gehört seit Beginn 2019 der LAUDA Gruppe an und soll als Entwicklungs- und Fertigungsstandort weiter ausgebaut werden.

LAUDA Hydro Wasserbäder: Für jede Laboranwendung ausgestattet

Wasserbäder sind ein unentbehrlicher Bestandteil vieler Prozessketten in Laboren. Mit sechs Wasserbädern, zwei Wasserbädern mit Umwälzfunktion sowie drei Schüttelwasserbädern bietet die Hydro Produktpalette die perfekte Ausstattung für jede Laboranforderung. Die Wasserbäder LAUDA Hydro mit einem Innenraum aus hochwertigem Edelstahl besitzen die passenden Badtiefen und -öffnungen für jede Anwendung mit Badvolumen von 4 bis 41 Liter. Mit ausgezeichneter Temperaturhomogenität, optionaler Umwälzung oder Schüttelfunktion sind sie für die Bedürfnisse von biologischen, medizinischen oder biochemischen Laboratorien ausgelegt.

Homogene Temperaturverteilung

Die Heizung der LAUDA Hydro Wasserbäder befindet sich direkt unter dem Siebboden, was für eine homogene Temperaturverteilung und ein schnelles Erreichen der gewünschten Temperatur mit hoher Temperaturstabilität von ±0,1 K sorgt. Die Heizleistung ist dabei an die jeweilige Badgröße angepasst. Die optionale Umwälzfunktion ist ideal für Anwendungen, die neben einer zeitlichen auch eine räumliche Temperaturverteilung im gesamten Bad benötigen. Die Temperaturhomogenität bei Wasserbädern mit Umwälzsystem liegt bei hervorragenden ±0,02 K.

Alle Wasserbäder bieten einen Temperaturbereich von bis zu 100 °C, der auch Anwendungen im Siedebereich ermöglicht. Über eine Timer-Funktion lassen sich eine Einschaltverzögerung und die Dauer der Betriebszeit sowohl nach einer Einschaltverzögerung als auch nach Erreichen der Solltemperatur einstellen. Der kontraststarke 3,5 Zoll TFT-Display zeigt alle Einstell- und Betriebswerte an. Zusätzlich besitzt der Regler eine elektronische Funktionskontrolle mit optischer und akustischer Alarmmeldung im Fehlerfall. Der zweifache Übertemperaturschutz erlaubt einen zuverlässigen Dauerbetrieb auch in Abwesenheit des Bedieners.

LAUDA Hydro Schüttelwasserbäder von 10 bis 100 °C – hochwertig, intuitiv, zuverlässig

Die Schüttelwasserbäder der LAUDA Hydro Reihe erfüllen, je nach Anforderung, unterschiedliche Aufgaben im Labor. Während die Typen H 20 S und H 20 SW für eine lineare, oszillierende Schüttelbewegung ausgelegt sind, bewegt der Gerätetyp H 20 SOW die Probe kreisförmig, da je nach Applikation eine unterschiedliche Durchmischung der Proben notwendig ist. Anwendungen in der Biotechnologie beispielsweise setzen häufig auf eine orbitale Schüttelbewegung.

Der eingebaute Drehzahlregler ermöglicht eine lastunabhängige, stufenlos einstellbare Schüttelbewegung mit einem sanften Anlauf. Die beiden Schüttelwasserbäder H 20 SW und H 20 SOW sind serienmäßig mit einer Kühlschlange ausgestattet. Durch Anschluss an die Hauswasserversorgung oder an handelsübliche Umlaufkühler kann der Temperaturbereich der Schüttelwasserbäder nach unten auf bis zu 10 °C erweitert werden.

LAUDA Hydro: Anwendersicherheit und lange Lebensdauer

Alle Hydro Gerätetypen sind mittels Unterniveauschutz vor Überhitzung bei Trockenlauf geschützt. Die Hydro Schüttelwasserbäder besitzen standardmäßig eine Wasserniveauregelung, die einen zuverlässigen Dauerbetrieb garantiert. Darüber hinaus bestehen sie aus einem korrosionsbeständigen Außengehäuse aus elektrolytisch verzinktem, pulverbeschichtetem Stahlblech, die Gehäuseinnenteile sowie der Rohrheizkörper sind aus Edelstahl gefertigt. Der doppelwandige, wärmeisolierte, mit innerer Wölbung versehene Deckel verhindert zuverlässig das Zurücktropfen von Kondensat. Die zurückgesetzten Bedienelemente schützen die Elektronik vor Tropfwasser und Verschmutzung. Das erhöht die Lebensdauer und sorgt für hohe Anwendersicherheit.

Für Spezialanwendungen wie das schonende Abdampfen aus Erlenmeyerkolben, das Strecken und Trocknen geschnittener Gewebeproben rundet LAUDA seine neue Linie an Wasserbädern mit Abdampfbädern sowie einem Paraffinstreckbad ab. Die neuen LAUDA Hydro Wasserbäder sind ab sofort erhältlich und lösen damit die bisherige Linie der LAUDA Aqualine Wasserbäder zum Ende März 2020 ab.