POU

热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业

热电使用地点 (POU) 温度控制系统完成等离子刻蚀应用中可复制的温度调节。此系统确保静电硅片夹 (ESC) 的动态温度调节,并且可与所有类型的刻蚀工艺结合使用。成熟和已知的珀耳帖元件传热原理是热电温度调节系统 LAUDA-Noah POU 的基础。使用此元件可快速、准确调节温度,这正是不断缩小部件高要求生产过程需要的。

与基于压缩机的系统相比,通过在使用地点 (POU) 使用温度控制系统,降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下,非常节省空间,这样最大限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 °C,从而提高晶圆间均质性。

最低工作温度范围

- 20 °C

最高工作温度范围

90 °C

POU 3300 POU 3500
最小工作温度 -20 °C -20 °C
最大工作温度 90 °C 90 °C
20 °C 时的制冷功率 1.2 kW 2.5 kW
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