TMO Badthermostate

Thermoelektrische Badthermostate für MOCVD-Prozesse von -10 bis 60 °C

Die TherMOstat und TMO-Badthermostate nutzen die bewährte und zuverlässige Technologie der Thermoelektrik. Sie sind optimiert für Prozesse der metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (metal-organic chemical vapour deposition, MOCVD) bei der Produktion von LEDs, Lasern, Transistoren oder Solarzellen. Die Thermostate bieten eine beispiellose Zuverlässigkeit, geringe Betriebskosten und eine Temperaturkonstanz von ±0,1 °C.

Die TherMOstat-Geräte und der TMO-Thermostat sind mit einem O-Ring dicht verschlossen. Dadurch wird ein Überlaufen verhindert und darüber hinaus können keine Dämpfe in die Umgebung gelangen, die die Prozesselektonik negativ beinflussen können. Da die Pumpe das einzige bewegliche Teil in den Geräten ist, ist ein nahezu wartungsfreier Betrieb möglich.

Arbeitstemperaturbereich Min.

-10 °C

Arbeitstemperaturbereich Max.

60 °C

Temperarturkonstanz

0,01 ±K

TherMOstat 10.0 TherMOstat 500 TherMOstat 8.0
Arbeitstemperatur min. -10 °C 0 °C -10 °C
Arbeitstemperatur max. 60 °C 50 °C 60 °C
Temperaturkonstanz 0.1 ±K 0.1 ±K 0.1 ±K
Kälteleistung bei 20 °C 0.25 kW 0.25 kW 0.25 kW
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