Semistat Prozessthermostate
Thermostats de process thermoélectriques conçus pour l'industrie des semi-conducteurs de -20 à 90 °C

Thermostats de process thermoélectriques de -20 à 90 °C pour l'industrie des semi-conducteurs

Régulation rapide et précise de la température pour les process exigeants. Basés sur les principes éprouvés de transfert de chaleur des éléments Peltier, les systèmes thermoélectriques de contrôle de température LAUDA Semistat offrent un contrôle de température reproductible pour les applications de gravure au plasma.

Grâce à la régulation de température dynamique du support de tranche électrostatique (ESC), les appareils peuvent être utilisés avec tous types de processus de gravure.

Efficaces sur le plan énergétique, peu encombrants et dotés d'une régulation stable de la température, ils sont, grâce à ces systèmes ingénieux, idéaux pour la fabrication de composants de plus en plus petits.

Aperçu

Avantages et valeur ajoutée

  • Système sans compresseur ni fluide frigorigène à faible consommation d'énergie
  • Plus faible encombrement du secteur, idéal pour une installation sous plancher
  • Volume très faible de liquide caloporteur

Espace de travail

Grâce à l'utilisation des systèmes de thermorégulation Point-of-Use (POU), il est possible de réduire la consommation énergétique de 90 % par rapport aux systèmes à base de compresseur. Un encombrement très faible et une installation possible sous plancher au Point-of-Use permettent de réduire la consommation de la salle blanche. La régulation de température rapide et précise des profils de température de process de ±0,1 °C permet d'améliorer l'homogénéité Wafer-to-Wafer.

Température de fonctionnement min.

Température de fonctionnement min.

-20 °C

Température de fonctionnement étendue max.

Température de fonctionnement étendue max.

90 °C

Constance de la température

Constance de la température

0.1 ± K

Lignes d'appareils

Sélectionnez jusqu'à 4 paramètres techniques que vous souhaitez afficher dans le tableau

Produit Température de travail min. Temp. de travail max. Puissance de chauffe max. Puissance frigorifique à 20 °C 50 Hz Comparer le produit
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW Détails
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW Détails
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW Détails

Dimensions de l'appareil

116 x 232 x 470 mm

Semistat S 1200

194 x 300 x 560 mm

Semistat S 4400

116 x 300 x 560 mm

Semistat S 2400

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Appareil Catégories d'appareil Type de document Langue Format Taille

Chapitre Thermostats à circulation et de process
Catalogue général

Thermostats de processus Prospectus
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