POU

Thermostats de process thermoélectriques conçus pour l'industrie des semi-conducteurs de -20 à 90 °C

Le système de régulation thermoélectrique Point-of-Use (POU) permet une régulation reproductible de la température pour les applications de gravure au plasma. Ce système assure une thermorégulation dynamique du support de tranche électrostatique (ESC) et peut être utilisé avec tous types de processus de gravure. Les systèmes de régulation thermoélectriques LAUDA-Noah POU reposent sur le principe éprouvé et reconnu du transfert de chaleur des éléments Peltier. L'utilisation de ces éléments garantit une thermorégulation rapide et précise, requise pour les processus exigeants liés à la fabrication de composants de plus en plus petits.

Grâce à l'utilisation des systèmes de thermorégulation Point-of-Use (POU), il est possible de réduire la consommation énergétique de 90 % par rapport aux systèmes à base de compresseur. Un encombrement très faible et une installation possible sous plancher au Point-of-Use permettent de réduire la consommation de la salle blanche. La régulation de température rapide et précise des profils de température de process de ±0,1 °C permet d'améliorer l'homogénéité Wafer-to-Wafer.

Plage de température de fonctionnement min.

- 20 °C

Plage de température de fonctionnement max.

90 °C

POU 3300 POU 3500
Température de fonctionnement min. -20 °C -20 °C
Température de fonctionnement max. 90 °C 90 °C
Capacité frigorifique à 20 °C 1.2 kW 2.5 kW
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