Semistat Prozessthermostate
Thermoelektrische Prozessthermostate für die Halbleiterindustrie von -20 bis 90 °C

Thermoelektrische Prozessthermostate von -20 bis 90 °C für die Halbleiterindustrie

Schnelle und päzise Temperaturregelung für anspruchsvolle Prozesse. Basierend auf den bewährten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen, bieten die thermoelektrischen Systeme zur Temperaturregelung LAUDA Semistat reproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen.

Durch dynamische Temperaturregelung des elektrostatischen Wafer-Chucks (ESC) können die Geräte mit allen Arten von Ätzprozessen eingesetzt werden.

Energieeffizient, platzsparend und mit stabiler Temperaturregelung sind sie dank dieser ausgeklügelten Systeme ideal bei der Herstellung immer kleiner werdender Bauteile.

Übersicht

Vorteile und Mehrwert

  • Kompressor- und kältemittelfreies System mit niedrigem Energieverbrauch
  • Branchenweit kleinste Standfläche, ideal geeignet für Unterflurinstallation
  • Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen

Arbeitsbereich

Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht.

Arbeitstemperatur min.

Arbeitstemperatur min.

-20 °C

Arbeitstemperatur max.

Arbeitstemperatur max.

90 °C

Temperaturkonstanz

Temperaturkonstanz

0.1 ± K

Gerätelinien

Wählen Sie bis zu 4 technische Parameter, die Sie in der Tabelle anzeigen lassen möchten

Produkt Arbeitstemp. min. Arbeitstemp. max. Heizleistung max. Kälteleistung bei 20 °C 50 Hz Produkt vergleichen Produkt kaufen
Semistat S 1200 -20 °C 90 °C 3 kW 1.2 kW Produkt im Shop kaufen Details
Semistat S 2400 -20 °C 90 °C 6 kW 2.45 kW Produkt im Shop kaufen Details
Semistat S 4400 -20 °C 90 °C 12 kW 4.4 kW Produkt im Shop kaufen Details

Geräteabmessungen

116 x 232 x 470 mm

Semistat S 1200

194 x 300 x 560 mm

Semistat S 4400

116 x 300 x 560 mm

Semistat S 2400

Downloads - Allgemeine Produktdaten

Bitte wählen Sie aus, welche Dokumente Sie in welcher Sprache sehen möchten:

Verfügbare Dokumente
Verfügbare Sprachen
Gerät Gerätekategorie Dokumententyp Sprache Format Größe

Kapitel Umwälz- und Prozessthermostate
Gesamtprospekt

Prozessthermostate Prospekt
Deutsch
PDF 4,74 MB Dokument herunterladen Dokument herunterladen

Thermoelektrische Prozessthermostate

Prozessthermostate Prospekt
Deutsch
PDF 871,96 kB Dokument herunterladen Dokument herunterladen

Zubehör

Sie benötigen weitere Informationen oder haben Sie Fragen?


Vertrieb DACH

+49 9343 503-555
E-Mail

Das könnte Sie auch interessieren:

Wärmethermostate

Wärmethermostate

  • unterschiedliche Leistungsklassen von Einstieg bis Highend
  • Temperaturspektrum 20 °C bis 300 °C
  • Temperaturkonstanz ± 0,01 K
  • Badgrößen von 2,5 L bis 40 L, Badgefäße aus Edelstahl (isoliert)
  • vielfältige Schnittstellenmodule
Zu Wärmethermostate
Kältethermostate

Kältethermostate

  • unterschiedliche Leistungsklassen von Einstieg bis Highend
  • Temperaturspektrum -100 °C bis 200 °C
  • Einfach nachhaltig - mit natürlichen Kältemitteln verwendbar
  • Badgrößen von 3,3 L bis 44 L, Badgefäße aus Edelstahl (isoliert)
  • vielfältige Schnittstellenmodule
Zu Kältethermostate
Umwälz- und Prozessthermostate

Umwälz- und Prozessthermostate

  • Temperierung durch Kältemittel oder Peltiertechnik
  • Geräte mit offenen Badsystemen sowie mit Drucküberlagerungen
  • kompakte Bauweise
  • Temperaturspektrum -90 °C bis 320 °C
  • 0,06 bis 25 kW Kälteleistung
Zu Umwälz- und Prozessthermostate
Kalibrierthermostate

Kalibrierthermostate

  • Temperaturspektrum -25 °C bis 200 °C
  • konstante Eintauchtiefen dank Kalibrierkammer mit Überlaufprinzip
  • unterschiedliche Größen, Badöffnungen und Nutztiefen erhältlich
  • umfangreiches Zubehör
  • bessere Wärmeübertragung im Vgl. zu Wärmeschränken und Metallblockthermostaten
Zu Kalibrierthermostate
Einhänge- und Brückenthermostate

Einhänge- und Brückenthermostate

  • Temperierung beliebiger Badgefäße, Heizleistung bis 3,5 kW
  • Teleskopstange für Bäder von 310 bis 550 mm Breite
  • mit unterschiedlichen Pumpenmodellen: Druck-Saug-Pumpe oder leistungsstarke Druckpumpen
  • für unterschiedliche Badtiefen bis 320 mm
  • auswählbarer Kontrollkopf abhängig vom benötigten Funktionsumfang
Zu Einhänge- und Brückenthermostate

Anwendungen und Branchenbeispiele für LAUDA Thermostate

Halbleiterindustrie

Halbleiterindustrie

Bei der Herstellung von Halbleitern und der Prüfung elektronischer Bauteile gibt es zahlreiche Prozesse, die exakt temperiert sein müssen.

Zum Anwendungsbeispiel

Es befinden sich bereits drei Produkte in Ihrer Vergleichsliste.
Um andere Produkte zu vergleichen, löschen Sie bitte eines der Produkte in Ihrer Vergleichsliste.