POU

Thermoelektrische Prozessthermostate für die Halbleiterindustrie von -20 bis 90 °C

Das thermoelektrische Point-of-Use (POU) Temperiersystem bietet reproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen. Dieses System sorgt für eine dynamische Temperaturregelung des elektrostatischen Wafer-Chucks (ESC) und kann in Verbindung mit allen Arten von Ätzprozessen eingesetzt werden. Die thermoelektrischen Temperaturregelungssysteme LAUDA-Noah POU basieren auf den bewährten und bekannten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen. Die Verwendung dieser Elemente ermöglicht eine schnelle und präzise Temperaturregelung, die für die anspruchsvollen Prozesse rund um die Herstellung immer kleiner werdender Bauteile erforderlich ist.

Durch den Einsatz von Point-of-Use (POU) Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 °C wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer- Homogenität erreicht.

Arbeitstemperaturbereich Min.

-20 °C

Arbeitstemperaturbereich Max.

90 °C

POU 3300 POU 3500
Arbeitstemperatur min. -20 °C -20 °C
Arbeitstemperatur max. 90 °C 90 °C
Kälteleistung bei 20 °C 1.2 kW 2.5 kW
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